YM-RL-1201A爱发科罗茨泵机组
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YM-RL-1201A爱发科罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速，可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。
技术参数
* 1 用皮拉尼真空计测定的值。
* 2 不作为推荐系列。
* 3 冷却水不得有结露。
* 4 用调节阀所调整的压力表的值。
* 5 氮气（密封气体）流量5L/min是固定值。
抽气速率
品牌
爱发科（ulvac）
型号
YM-RL-1201A
抽速 (50 Hz)
1012 L/min
抽速 (60 Hz)
1051 L/min
极限压力 Pa
0.67
电机额定功率
3.7 kw