真空泵长期性应用后，会出现真空值降低、密封性处渗油、真空泵旋转停滞不前、乃至产生“卡住”、油环境污染比较严重、真空泵腔锈蚀、旋片挺大的敲击声、真空泵腔内掉入硬块刮伤真空泵腔、导致真空泵超温等异常情况，这时务必对真空泵维修、拆卸。

其流程为，

　　1、断开开关电源，将真空泵从超滤装置上卸掉，

　　2、用作用力法或加压法将脏油释放并搜集起來，以防环境污染;

　　3、卸掉传动带、皮带盘积键(双极旋片真空泵包括传动带);

　　4、先拆低真空泵端，取出后端盖，再取下低真空泵转子、旋片及弹黄等;

　　5、将前端盖拆下来，取下高真空泵转子、旋片及弹黄等;

　　6、取下视镜、自动排气阀、排气管盖等;

　　7、将所拆下来的金属材料零件用车用汽油完全清理整洁，并且用乙醇脱干。硫化橡胶零件能用15%的氢氟化铵水溶性掖烧开除油。对有毛边或锈蚀的零部件.能用磨刀石或金相砂纸缓缓的碾磨，以除去锈迹和毛边。清理后的零部件务必风干;

　　8、安装时，先安装后级，将弹黄、旋片撑起装进转子内，随后放进真空泵腔.装往前端盖.再装定位销.匀称对称性地扭紧螺丝。安装后.应确保旋转灵便、匀称。装好前面转子之后端盖后，再装自动排气阀(自动排气阀片应紧贴高压闸阀)以及它件，如气镇设备等。

此外，真空泵维修常见问题以下：

　　1、应定期维护油量是不是低干油道路标线。如低干油道路标线，应立即给油，杏则.会危害真空泵的真空值。剩余油也不适合太多，不然会造成启动艰难，油泵等难题。

　　2、应常常留意真空泵运行是不是一切正常，是否独特响声，机是不是过载运行，电动机积真空泵的温开是不是过高。

　　3、用冷却水的真空泵，应避免 冷却循环水终断，真空泵温不可超出70度。若工作温度低干5度，关机后应将真空泵内冷却循环水放净，防止真空泵体冻破。

　　4、真空泵应经带保持干净，真空泵上不可置放其他物品。

　　5、留意传动带紧松是杏适度.必需时要调节或拆换。

　　6、应每一年按时拆换了1~3次真空泵油)。真空泵冶炼用的机械设备真空泵，每月很有可能换油多坎。它是由干真空泵在应用全过程中，真空泵油会被灰、水份或其他脏污环境污染或皂、炭化，影晌真空泵的特性，因而，必须依据详细情况按时换油。